· 테이블은 3층 협심벌집형 지지구조로 Icr17 고도자기 스테인리스강을 사용한다

· 방진 재료는 정밀형 전문 저항 감진기와 국가 표준급 저항 방진 패드를 사용한다

· 고유 주파수 최소 3Hz, 충격 흡수 성능

· 고객 요구 사항에 따라 이기종 구성 가능 (L글꼴,T글꼴,V글꼴 등) 정밀 광학 플랫폼

· 평면도는 0.05mm/보다 크지 않다㎡

· 표면 조잡도 0.8um 미만~1.6um

· 고유주파수 3Hz~6Hz

· 진폭이 5um보다 크지 않음

· 위치 정밀도 반복+0.05mm