지능 질량 유량계 소체적 유량 컨트롤러 열식 기체 질량 유량계
용도 및 특징
질량 유량 컨트롤러(Mass Flow Controller는 MFC로 약칭)는 가스의 질량 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는 데 사용됩니다.이들은 반도체와 집적회로공업, 특수재료학과, 화학공업, 공업, 의약, * * * 및 진공등 등 여러 분야의 과학연구와 생산에서 중요한 역할을 한다.그 전형적인 응용 장소는 확산, 외연, 전자 공예 설비를 포함한다.CVD、산화, 플라스마 부식, 사출, 이온 주입;및 도금설비, 광섬유정련, 미반응장치, 혼기배기시스템, 모세관측정, 기상크로마토그래프 및 기타 분석기구.
주요 기술 지표
범위 (20,30,50100200300500) SCCM (0~1,2,3,5,10) SLM
정확도 +1.5% F.S
선형 +0.5~1.5% F.S
반복 정밀도 +0.2% F.S
응답 시간 10sec 가스 특성: (1~4) sec
작동 전압 0.1 ~ 0.5MPa
내압 3Mpa 6Mpa 10Mpa
작업 환경 온도 0~70 ℃
디지털 RS485 MODBUS 프로토콜
아날로그 DC 0~5V, 4~20mA 옵션
전기 특성: SLM
전원 공급 DC +15V/24V 옵션, 유량계<50mA, 컨트롤러<200mA
전기 연결 DB15
누수 1 x 10 SCCSHe
베이스 소재 316L 스테인리스 스틸
밀봉재질 불소고무, 네오프렌, 네오프렌
가스 커넥터 Φ3, Φ6, Φ10, 1/8″, 1/4″, 3/8″
참고: 품질 유량계와 품질 유량 컨트롤러는 일반적으로 질소 가스 (N₂) 로 출하됩니다.
질량 유량의 단위는 SCCM(표준 밀리리터/분),SLM(표준 L/분)
지능 질량 유량계 소체적 유량 컨트롤러 열식 기체 질량 유량계