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기술 지표

진공강체는 사용자의 요구에 따라 크기와 크기를 설계할 수 있다

극한 진공 ≥ 1x10-5Pa

가열 온도 ≤ 800 ℃

시스템 자체 누수율 ≥ 1x10-12mbar l/s

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